由于半导体制程涉及纳米尺度的超精密制造,因此对参与其中的工艺介质有着极高的洁净度要求。
无论是颗粒物,还是金属、离子、细菌等污染物,均会导致所制造器件的性能缺陷与良品率下降。颗粒物是导致 半导体制造缺陷的最主要因素,其影响往往是“显性”。
此外,工艺介质中的微粒子、细菌、金属、离子和总有机碳( TOC) 等杂质还会引发晶圆上器件性能产生,包括耐压劣化、表面粗化、寿命降低等等这些“隐形”缺陷。
迈思德为解决这些显性&隐性痛点,不断研发创新,生产出针对半导体行业的无尘洁净用品,为半导体制程中的污染物控制助力,从而确保工艺性能和提高产品良率。
迈思德亮相上海半导体展会,与众多行业领军企业同台竞技,共同分享最新的科研技术和研究成果。